Associate Professor Supervisor of Master's Candidates
(1)高精控制实现
部件结构:导轨、转台、主轴、摆头
控制方法:总线、模拟量、脉冲方向
控制精度:定位及重复定位精度、动态特性
(2)精度测量标定
部件形式:直线、旋转
几何精度:直线度、回转精度
控制精度:定位及重复定位精度