独立领导团队进行控制理论和电力电子方向的科学研究和产品开发,在重复控制和二自由度控制方面有独特的见解,并跟香港科技大学合作,在复杂系统的相位控制理论获得了前沿理论突破,形成了独立的研究方向。
目前专注于高速高精度微纳控制及算法方面的研究,符合《中国制造 2025》的重点发展领域。主要在运动控制器和伺服驱动器领域进行振动抑制、惯量动态补偿和非线性补偿等技术的研发。在半导体装备及核心工业 IP 领域获得较多成果,实现了部分关键设备国产高精度运动控制系统的进口替代,达到高速高精(40g,10m/s)的运动速度和精度, um(微米)和 nm(纳米)精密加工水平。实现国内对国外技术的赶超,突破国外技术壁垒,具有深刻的产业意义。目前,团队规模达 100 人以上,年产品销售额超过 1 亿元人民币。
研究成果在控制学科理论研究工程化提供良好范例,有助于控制科学工程应用的发展,促进更多先进的控制理论科研成果转化为切实可行的设计方法,指导产业提高,形成社会效益。
与国内一线半导体设备厂商如北方华创、中微、屹唐、新凯莱、阿达智能、镭神技术等公司紧密合作,积极促进相关技术成果的实践应用和产业化进程,实现了在芯片蚀刻设备、CVD设备、焊线机、划片机、固晶机、检测设备、光耦合设备及精密激光加工设备中有批量应用,对提高我国高端装备产业发展和国产化进程起到了推动作用。