所属单位:微电子与通信工程学院
发表刊物:MICROSYSTEMS & NANOENGINEERING
关键字:Nanoscience & Nanotechnology; Instruments & Instrumentation
合写作者:Fan, ZW(外), ZJ(外)
第一作者:艾斌
论文类型:期刊论文
通讯作者: ZJ,Wong
论文编号:235172
卷号:8
页面范围:-
ISSN号:2055-7434
是否译文:否
发表时间:2022-01-01
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