Tao Huang
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精密/超精密运动控制
基于动力学模型及其系统辨识方法，研究精密/超精密运动控制理论与技术，提出刚柔耦合MIMO机电系统高性能智能化控制综合方法，实现高速高精度MIMO机电运动系统的高性能、高稳定性、强鲁棒性综合控制，在多自由度光刻机工件台、机器人、超精密压电驱动装置等实际应用中展现良好的抗干扰性能、瞬态性能和跟踪精度。